真空高温感应等离子连续镀膜设备

用途：利用电磁感应加热发热体石墨的方式产生热场，主要用于0.05~0.025mm带材的等离子气相沉积石墨烯，配合张力控制系统和炉内压力控制系统，恒压控制系统。可实现高精度退火和石墨烯的生长。

技术数据

工作温度650~1200℃

工作真空度 200Pa~2000Pa

极限真空度 9.8*10-4Pa

压升率  2Pa/h

温区尺寸 φ120~φ200   长度 500~1000mm

带材速度 0.1~50mm/s

整机功率  45KW

工作功率  34KW

规格型号

ZGTH/DM-A/B/C